マイクロ流路及びそれを用いたマイクロポンプ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-065768
公開番号（公開出願番号）：特開2001-252896
出願日： 2000年03月06日
公開日（公表日）： 2001年09月18日
要約：

【要約】【課題】水に対する濡れ性を良くし、定量精度あるいは検出精度を安定させるマイクロ流路を提供する。【解決手段】作動流体50が通過するマイクロ流路100の流路表面の一部あるいは全面に形成された金属層104の表面に、末端基に親水基105を有する硫黄化合物皮膜106を形成する。

請求項（抜粋）：

マイクロマシーニングプロセスにより形状加工が施された複数の基板を組み合わせて構成され、作動流体が通過するマイクロ流路において、前記作動流体が接する流路表面の一部あるいは全面に形成された金属層の表面に、末端基に親水基を有する硫黄化合物層を形成することを特徴とするマイクロ流路。

IPC (5件)：

B81B 1/00 , B81B 5/00 , C23C 26/00 , F04B 43/02 , G01N 35/10

FI (5件)：

B81B 1/00 , B81B 5/00 , C23C 26/00 A , F04B 43/02 B , G01N 35/06 A

Fターム (28件)：

2G058CB04 , 2G058CD04 , 2G058EA11 , 2G058EB00 , 2G058EB01 , 3H077AA08 , 3H077BB10 , 3H077CC02 , 3H077CC09 , 3H077CC18 , 3H077DD06 , 3H077EE05 , 3H077EE16 , 3H077EE25 , 3H077EE34 , 3H077FF03 , 3H077FF04 , 3H077FF07 , 3H077FF08 , 3H077FF09 , 3H077FF12 , 3H077FF14 , 3H077FF22 , 3H077FF36 , 4K044AA06 , 4K044AB10 , 4K044BA21 , 4K044CA53

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