特許

J-GLOBAL ID：200903046313132159

液滴付与装置ならびにこれを用いうる電子放出素子、電子源基板、電子源、表示パネルおよび画象形成装置の製造方法

発明者： 三浦 直子 ,  三道 和宏 ,  長谷川 光利
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-177270
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012137
出願日： 1996年06月18日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 導電性薄膜を構成するための液滴の付与をより適切に行えるようにして、不良素子の発生を未然に防止する。【解決手段】 基板1上の所定位置に液滴8を付与する2以上の液滴付与手段6、7を、これらの液滴付与手段によって付与された液滴の付与状態を検出する検出手段9、10、12の出力に基づき必要に応じて切り替えて駆動する。さらに、検出手段が検出した液滴の付与状態が異常の場合、その液滴を除去するようにしてもよい。また、検出手段の液滴への投光光軸と液滴付与手段が付与する液滴の弾道とが一致するようにしてもよい。

請求項（抜粋）：

基板上の所定位置に液滴を付与する2以上の液滴付与手段と、これらの液滴付与手段によって付与された液滴の付与状態を検出する検出手段と、前記2以上の液滴付与手段を、前記検出手段の出力に基づき必要に応じて切り替えて駆動する駆動手段とを具備することを特徴とする液滴付与装置。

IPC (4件)：

H01J 9/02 ,  B41J 2/01 ,  H01J 1/30 ,  H01J 31/12

FI (4件)：

H01J 9/02 B ,  H01J 1/30 B ,  H01J 31/12 C ,  B41J 3/04 101 Z