特許
J-GLOBAL ID：200903046313721227
マスク保護装置とペリクル枠
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 晃一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-207503
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048811
出願日： 1996年08月07日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課 題】生産ラインの自動化のためマスク保護装置の持ち運びをハンドによって行う場合のマスク保護装置の把持が遠くからでも簡単に行え、汚染も生じにくゝ、またハンドの構造も簡単で、コンパクトにできるようにする。【解決手段】ペリクル枠5の左右両側にハンドで掴むことのできる幅広な舌片状の取手6を突設する。
請求項（抜粋）：
マスクパターンを囲う大きさのペリクル枠と、該枠の一側面に張設される透明な薄膜からなり、マスクパターンを囲うようにしてマスクに貼着されるマスク保護装置のペリクル枠において、ハンドで掴むことのできる取手を突設してなるペリクル枠。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 K
, H01L 21/30 502 P
