表面分析用試料の破断方法および試料固定保護具

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢葺知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-001167
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209153
出願日： 1994年01月11日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】表面分析のための試料の破断において、変形しやすい試料や微小な試料の分析が困難であるなどの、試料の材質や形状についての制限を解消するための破断方法、および試料破断のための試料固定保護具を提供する。【構成】表面分析のための破断試料の中で、変形しやすい試料や微小な試料を試料固定保護具を用いて保持し、超高真空中で試料と試料固定保護具を一緒に破断し、試料の破断面を出す。【効果】従来の方法で破断することが困難であった試料の破断面の表面分析を行うことができるようになり、新たな分析情報が得られるようになった。

請求項（抜粋）：

表面分析のために超高真空中で試料を破断する方法において、切欠き(2)を有する薄板試料(1)と切欠き(4)を有する試料固定保護具(3)を、切欠き(2)と切欠き(4)が試料ホルダー(5)の開口部(6)の上面に位置するように挿入し、試料固定保護具固定用ビス(7)で薄板試料(1)と試料固定保護具(3)を固定した後、試料ホルダー(5)を表面分析用超高真空装置に導入し、薄板試料(1)と試料固定保護具(3)を該試料固定保護具(3)の横方向からの衝撃により同時に破断することを特徴とする表面分析用試料の破断方法。

IPC (3件)：

G01N 1/28 , G01N 23/227 , G01N 33/20

FI (2件)：

G01N 1/28 G , G01N 1/28 F

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