特許

J-GLOBAL ID：200903046329533021

無焼結窒化アルミニウム静電チャックおよびその製造方法

発明者： コウ,キョンヒョン ,  イ,ハヨン ,  イ,ジェホン ,  イ,フンサン ,  イ,ジェジョン
出願人/特許権者： エスエヌティー コーポレーション,リミティッド
代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-532093
公開番号（公開出願番号）：特表2007-508690
出願日： 2004年10月06日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

本発明は無焼結窒化アルミニウム(AlN)静電チャックおよびその製造方法に係わり、特に本発明はウエハーの加工時にウエハーを固定させるために使用する静電チャックにおいて、焼結工程や接着工程を行わずに誘電体を結合して使用することによって優れた静電特性を有すると共に優れた結合強度および熱伝導度を有する窒化アルミニウムのコーティング層が誘電体であることを特徴とする無焼結窒化アルミニウム(AlN)静電チャックおよびその製造方法に関する。 本発明は、静電チャックにおいて、誘電体がコーティングによって生成される窒化アルミニウム(AlN)であるので静電チャックの特性を向上させることができる窒化アルミニウム層を誘電体に使用するようになることによって、優れた静電特性および熱伝導性を有すると共に、これを焼結工程や接着工程を行わずに生成するようになるので優れた結合強度および熱伝導度を有する静電チャックを製作することができる。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムのコーティング層を静電チャックの誘電体として含む無焼結窒化アルミニウム(AlN)を備える静電チャック。

IPC (1件)：

H01L 21/683

FI (1件)：

H01L21/68 R

Fターム (5件)：

5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA10 ,  5F031HA16 ,  5F031PA30