特許
J-GLOBAL ID：200903046340248126
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-205385
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033260
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【目的】角速度センサの虚ヨーレートを発生させないこと。【構成】角柱音叉型振動子1の上面1b先端部にコリオリ力による変位を検出する検知用圧電素子2が、上面1bの支持部1a側に振動子1を制振するダミー素子21が、外側面1cに振動子1の駆動状況をモニタする参照用圧電素子3が、外側面1cの支持部1a側に振動子1を一定周期にて一定方向に駆動させる駆動用圧電素子4がそれぞれ貼着され、振動子1はクランプ9により基台8に対して概略平行に浮遊して固定される。基台8の中央部には、リードピン6が配設されたハーメチック端子5が設けられ、このリードピン6と圧電素子2、3、4とは、細線7により電気的に接続している。
請求項（抜粋）：
一定方向に一定周期にて振動する振動系に角速度が作用したときに、該振動系に発生するコリオリ力から該角速度を検出する角速度センサであって、少なくとも平行に対向配置された一対の角柱音片を有する音叉型振動子と、前記振動子上に配置され、前記振動子を一定方向に一定周期にて駆動させる一対の駆動用圧電素子と、前記駆動用圧電素子と直交するように前記振動子上に配置され、前記振動子に角速度が働いたときに発生するコリオリ力を前記振動子の変位として検出する一対の検知用圧電素子と、前記角速度が、前記振動子の駆動方向の共振周波数と検知方向の共振周波数との差近傍の周波数であるとき、前記振動子の検知方向の振動を減衰させる減衰手段とを備えたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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