特許
J-GLOBAL ID：200903046354981047
連続帯状物用真空蒸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀田 実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-290617
公開番号（公開出願番号）：特開平6-136537
出願日： 1992年10月29日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：
【要約】【目的】 帯状物の幅方向に均一に分布した膜が形成され、かつ、膜質の点でも、優れた蒸着膜を得ることができる連続帯状物用真空蒸着装置を提供することにある。【構成】 真空槽内に配置されたるつぼの上方に連続的に移動する帯状物が設置され、加熱手段によりるつぼ内に充てんされている蒸発材を蒸発させて帯状物表面上に蒸着を行なう真空蒸着装置において、前記るつぼの長手方向の中心線が前記帯状物の移動方向に対して斜めになるように該るつぼが配置されている。
請求項（抜粋）：
真空槽内に配置されたるつぼの上方に連続的に移動する帯状物が設置され、加熱手段によりるつぼ内に充てんされている蒸発材を蒸発させて帯状物表面上に蒸着を行なう真空蒸着装置において、前記るつぼの長手方向の中心線が前記帯状物の移動方向に対して斜めになるように該るつぼが配置されていることを特徴とする、連続帯状物用真空蒸着装置。
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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