特許
J-GLOBAL ID：200903046357190938
チルトミラー素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
三好 秀和
, 中村 友之
, 伊藤 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-310495
公開番号（公開出願番号）：特開2007-121467
出願日： 2005年10月25日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】バネ部の強度を小さくすることなく大きなミラー振れ角を実現する。【解決手段】ミラー面5aを揺動させることにより光ビームの光路を切り替えるミラー部5と、ミラー部5を内部に収容する支持基板2及びガラス基板4と、支持基板2に設けられた下部電極19と、ガラス基板4に設けられたITO電極16とを備え、下部電極19とITO電極16に電圧が印加されることによってミラー部2との間に発生する静電力を利用してミラー部2を揺動を補助する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ミラー面を揺動させることにより光ビームの光路を切り替えるミラー部と、
前記ミラー部を内部に収容するパッケージと、
前記パッケージの上部及び下部に設けられ、電圧が印加されることによってミラー部との間に発生する静電力を利用してミラー面の揺動を補助する一対の電極部と
を備えることを特徴とするチルトミラー素子。
IPC (4件)：
G02B 26/08
, G02B 26/10
, B81B 3/00
, B41J 2/44
G02B26/08 E
, G02B26/10 104Z
, B81B3/00
, B41J3/00 D
2C362BA17
, 2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ05
, 2H045AB10
, 2H045AB16
, 2H045AB73
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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