特許

J-GLOBAL ID：200903046365386485

走査型露光装置

発明者： 森 晋 ,  柳原 政光 ,  楢木 剛 ,  佐伯 和明 ,  横田 宗泰
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-282307
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135165
出願日： 1993年11月11日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【目的】 小型の投影光学系を用いて、スリット長の長い走査型露光装置を提供する。【構成】 マスク10とプレート14の走査方向に直交する方向に沿って5つの正立等倍実結像系の投影光学系12a〜12eを千鳥配置する。マスクとプレートは同方向に同期して走査する。

請求項（抜粋）：

光源からの光束をマスクのパターン領域の一部分に照射する5つの照明光学系と、所定の方向に沿って、且つ該所定の方向と直交する方向に互いに変位して配置されるとともに、前記マスクを透過した前記光束による前記一部分それぞれの等倍の正立像を感光基板上に投影する5つの投影光学系と、前記投影光学系に対して前記所定の方向とほぼ直交する方向に、前記マスクと前記感光基板とを同期して同一の速度で走査する走査手段とを備え、前記パターン領域の全面を前記感光基板上に転写することを特徴とする走査型露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/54 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 516 B