エネルギーアナライザ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-186246
公開番号（公開出願番号）：特開平11-031474
出願日： 1997年07月11日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】静電型エネルギーアナライザの高分解能化を図る。【解決手段】スリット板などによる偏向電界の擾乱を低減するために電界補正電極を設ける。

請求項（抜粋）：

電子もしくは荷電粒子が通るスリット穴を有する入射スリット板と出射スリット板および、電子もしくは荷電粒子の軌道を曲げる静電偏向用電界を発生する外側電極と内側電極からなる静電偏向型のエネルギーアナライザにおいて、上記入射スリット板と出射スリット板には各スリット板自身の電位により静電偏向用電界を乱すことを低減する電界補正電極を備え、かつ上記入射スリット板の上記アナライザ外面となる部分は上記電界補正電極による電界分布が外部に漏洩することを低減するスリット電極で覆われていることを特徴とするエネルギーアナライザ。

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