特許

J-GLOBAL ID：200903046366255635

分散移動光ファイバの製造方法

発明者： 呉 承憲 ,  尹 ▲よん▼植
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 高月 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-295502
公開番号（公開出願番号）：特開平9-175829
出願日： 1996年11月07日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：

【要約】【課題】 なめらかなコアの屈折率をもつ環状リング型屈折率プロファイルの分散移動光ファイバを製造するMCVD法を利用した製造方法を提供する。【解決手段】 温度を1875°C→1903°CとしつつSiCl4 :5200mg/m,GeCl4:430mg/m,POCl3 :30mg/m,CF4:9cc/m で供給してクラッドを形成する第1蒸着工程と、温度を1900°Cとし、SiCl4 :3300mg/m,GeCl4:1150mg/m,POCl3:20mg/m,O2 :1500cc/mで供給して環状リングを形成する第2蒸着工程と、温度を1890°C→1897°CとしつつSiCl4 :3800mg/m,GeCl4:430mg/m,POCl3 :10mg/m,CF4:7cc/m で供給してクラッドを形成する第3蒸着工程と、温度を1920°C→1890°CとしつつSiCl4:380mg/m →260mg/m,GeCl4 :20mg/m→195mg/m としながら供給し、O2:1500cc/mで供給してコア部を蒸着する第4蒸着工程と、温度を2300〜2360°Cとして蒸着後の石英管を凝縮し、密封前に温度を2220〜2250°CとしてCF4 :30〜40cc/mで供給しエッチングした後、温度を2350〜2370°CとしCl2 :100cc/m で供給して密封する密封工程と、を実施する。

請求項（抜粋）：

環状リング型屈折率プロファイルを有する分散移動光ファイバの製造方法において、石英管温度を所定温度とし、SiCl4 、GeCl4 、POCl3 、CF4 をそれぞれ所定量で供給して蒸着クラッド部を形成する第1蒸着工程と、石英管温度を1900°Cとし、SiCl4 を3300mg/m、GeCl4 を1150mg/m、POCl3 を20mg/m、O2 を1500cc/mで供給して環状リング部を形成する第2蒸着工程と、石英管温度を1890°Cから1897°Cへ上昇させつつ、SiCl4 を3800mg/m、GeCl4 を430mg/m、POCl3 を10mg/m、CF4 を7cc/mで供給して蒸着クラッド部を形成する第3蒸着工程と、石英管温度を1920°Cから1890°Cへ降下させつつ、SiCl4 を380mg/mから260mg/mへ減少させながら供給し、またGeCl4 を20mg/mから195mg/mへ増加させながら供給し、そしてO2 を1500cc/mで供給してコア部を蒸着する第4蒸着工程と、石英管温度を2300〜2360°Cとして蒸着後の石英管を凝縮し、そして密封前に石英管温度を2220〜2250°Cとし、CF4 を30〜40cc/m又はSF6 を8〜10cc/mで供給してエッチングした後、石英管温度を2350〜2370°Cとし、Cl2 を100cc/mで供給して密封する密封工程と、を実施することを特徴とする製造方法。

IPC (4件)：

C03B 37/018 ,  G02B 6/00 356 ,  G02B 6/18 ,  G02B 6/22

FI (4件)：

C03B 37/018 B ,  G02B 6/00 356 A ,  G02B 6/18 ,  G02B 6/22