特許
J-GLOBAL ID：200903046366414890
焦電型赤外線検出器およびその製造方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-262166
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317465
出願日： 1993年10月20日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】【目的】 基板のエッチング分離、除去工程の短縮化と、低コスト化を可能とする、焦電が他赤外線検出器およびその製造方法を供給する。【構成】 凹形状基板16と、樹脂膜14と、凹形状基板16の凹形状部より小さい焦電体12とを備え、凹形状基板16の凹形状部全面を覆うように樹脂膜14が接着支持され、樹脂膜14上に焦電体12が設けられており、焦電体12が基板凹形状部の概ね中央に設けられ、第1基板11上に焦電体12を作製し、この上から基板全体を覆うように樹脂膜14を作製し、この上に第2基板である前記凹状基板16を接着した後に、第1基板11をエッチングすることにより、第1基板11を分離、除去する。
請求項（抜粋）：
凹形状基板と、樹脂膜と、凹形状基板の凹形状部より小さい焦電体と、焦電体の両面に設けた電極とを備え、前記凹形状基板の凹形状部全面を覆うように前記樹脂膜が接着支持され、前記樹脂膜上に前記焦電体が設けられており、前記焦電体が前記凹形状基板の凹形状部の概ね中央に設けられていることを特徴とする焦電型赤外線検出器。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 37/02
