特許
J-GLOBAL ID：200903046367446566
テーパ付きキャピラリ光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-515972
公開番号（公開出願番号）：特表2001-525922
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：
【要約】金蔵又はガラスワイヤ(W)は細いテーパ付き円錐状体までエッチングされ、この円錐状体は所望の最終的なキャピラリ光学装置ボアの形状をなしている。フィードバック制御(C)を用いてエッチング液漕(B)からのワイヤの引き上げ速度(V)を制御することにより、注意深く制御されたテーパが形成される。センサ(S)はワイヤがエッチング液の表面から離れるときにワイヤの直径を測定する。エッチングされかつ平滑化されたワイヤは焦点合わせされるべき放射線に対し反射性を最適にする材料でもって被覆される。被覆済みワイヤは電気メッキされるか、無電解メッキにより堆積されるか、或いは例えばエポキシのようなポリマシリンダ内に閉じ込められて容易な取り扱いか或いは高強度のためにワイヤの直径が増大せしめられる。次いで、元来のワイヤ材料がスリットを介し化学的にエッチング除去され、さもなければ引き抜かれて最終的なテーパ付きキャピラリ光学要素の中空内部ボアが残される。
請求項（抜粋）：
放射線を焦点合わせするための、所望のテーパのテーパ付きキャピラリ光学装置を製造する方法であって、 エッチング液漕を用意する工程と、 該エッチング液漕によりエッチングされるべきワイヤを用意する工程と、 エッチングのために予め選択された深さまで該ワイヤをエッチング液漕内に配置する工程と、 該ワイヤを予め選択された深さから制御された速度で引き抜いて異なるエッチング作用を形成し、それにより所望のテーパを備えたテーパ付きワイヤであってテーパ付きキャピラリ光学装置の所望のテーパ外形を有するテーパ付きワイヤを形成するようにする工程と、 キャピラリ光学装置により焦点合わせされるべき放射線に対し反射性を有する被覆により該テーパ付きワイヤを被覆して被覆済みワイヤを製造する工程と、 テーパ付きワイヤを該被覆済みワイヤから除去して放射線を焦点合わせするための所望のテーパを有する被覆済みボアのみが残るようにする除去工程とを具備した放射線を焦点合わせするためのテーパ付きキャピラリ光学装置を製造する方法。
IPC (4件)：
G21K 1/06
, C03C 25/68
, C23F 1/00
, G21K 5/02
G21K 1/06 B
, C23F 1/00 A
, G21K 5/02
, C03C 25/06
