特許
J-GLOBAL ID：200903046370161513
合焦検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-081926
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294924
出願日： 1993年04月08日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】簡単な構成で高精度に合焦状態の検出を行うことができるコンパクトな合焦検出装置を提供する。【構成】試料53に走査されたレーザービームは、この試料53から反射した後、対物レンズ51、λ/4板49及び結像レンズ47を介してハーフミラー45に照射され、その一部が反射される。反射されたレーザービームは、試料53に対して共役な集光位置(P ́)に配置された位置検出素子(PSD)63上に集光される。PSD63では、集光スポットの移動距離に基づいて、合焦検出が行われる。
請求項（抜粋）：
光源と、この光源から発光した光を試料上に集光させる第1の光学系と、この第1の光学系を介して集光される前記光を前記試料に対して2次元走査させる第2の光学系と、前記試料からの光の光学的特性を検出する光検出器とを備えた走査光学系に適用されており、前記試料に対して光学的に共役な位置に配置され、前記試料に対する前記第1及び第2の光学系の合焦検出可能に構成された合焦検出素子を備えていることを特徴とする合焦検出装置。
IPC (3件)：
G02B 7/28
, G02B 21/00
, G02B 26/10 101
