特許
J-GLOBAL ID:200903046371507871

質量検出素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 細田 益稔 ,  青木 純雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-123049
公開番号(公開出願番号):特開2005-308452
出願日: 2004年04月19日
公開日(公表日): 2005年11月04日
要約:
【課題】少なくとも作用極側を溶液に接触させた状態で動作させる質量検出素子において、所定のQ値を保持しつつ、クリスタルインピーダンス(振動損失:R)を低減できるような構成を提供する。【解決手段】 質量検出素子1は、表面2aおよび裏面2bを有する圧電材料製の振動板2、振動板2の表面2aに設けられた第一の電極3A、および振動板2の裏面2bに設けられた第二の電極3Bを備えており、少なくとも第一の電極3Aを試料液に接触させた状態で試料液中の試料成分を検出する。振動板2の幅bに対する第一の電極3Aの幅aの比率(a/b)が0.64以上、0.96以下である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
表面および裏面を有する圧電材料製の振動板、前記振動板の前記表面に設けられた第一の電極、および前記振動板の前記裏面に設けられた第二の電極を備えており、少なくとも前記第一の電極を試料液に接触させた状態で試料液中の試料成分を検出する質量検出素子であって、 前記振動板の幅bに対する前記第一の電極の幅aの比率(a/b)が0.64以上、0.96以下であることを特徴とする、質量検出素子。
IPC (1件):
G01N5/02
FI (1件):
G01N5/02 A
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 特許第3003811号公報
  • においセンサヘッド
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-180541   出願人:日本電信電話株式会社
  • 特許第3139562号公報
審査官引用 (1件)

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