特許
J-GLOBAL ID:200903046373357850

ボンデイングツール

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山口 巖
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-317234
公開番号(公開出願番号):特開平5-152357
出願日: 1991年12月02日
公開日(公表日): 1993年06月18日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】相手方の接合材を溶融して相手方に接合される被吸着体を先端に吸着した状態で高温に加熱される吸着コレットの,該吸着コレット挿通孔内の移動を円滑にして、被吸着体を接合材に圧接するときの被吸着体の破損を防止し、かつ接合材の溶融時間を短くすることのできるボンディングツールの構成を得る。【構成】吸着コレット2を加熱する発熱体をコイル状加熱ヒータ10bとし、該ヒータと同軸に吸着コレットを該ヒータ内に挿入する構成として吸着コレット2と挿通孔10aとのすき間が大きくとれるようにする。吸着コレットには先端部に蓄熱用肥大部2eを設け、被吸着体を接合材に圧接して加熱溶融させる際の溶融時間を短縮し、さらに肥大部をコイル状加熱ヒータ10bで囲まれた収納ポケット10d内に位置させて溶融時間をさらに短縮する。
請求項(抜粋):
被吸着体を吸着コレットの先端に吸着し、被吸着体を所望の位置に加熱圧接するボンディングツールにおいて、前記被吸着体を吸着する吸着コレットが、該吸着コレットを同軸に挿通可能なコイル状加熱ヒータを備えた加熱ヒータユニットで加熱されるようにしたことを特徴とするボンディングツール。
IPC (2件):
H01L 21/52 ,  H01L 21/68

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