感光性樹脂層積層方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-362965
公開番号（公開出願番号）：特開2000-181080
出願日： 1998年12月21日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】シート基板の感光性樹脂層圧着面及びその感光性樹脂層を傷付けたりゴミが付着することなく搬送加熱することができ、しかも、加熱したシート基板が温度低下することなく感光性樹脂層の圧着処理をすることが可能となる感光性樹脂層積層方法を得る。【解決手段】エアフローパネル18及び加熱プレート24にはエア吐出孔20、26が設けられており、これらから吐出するエアによってシート基板Kを感光性樹脂層圧着面が下方に向いた非接触状態のままで加熱搬送できる。したがって、加熱の後にシート基板Kを表裏反転する必要がなく、シート基板Kの下面を傷付けたりゴミの付着を防止できるのみならず、加熱したシート基板Kが温度低下することなく圧着処理することができる。

請求項（抜粋）：

シート基板を予熱し、前記予熱後のシート基板の一面に感光性樹脂層を重ね合わせて圧着する感光性樹脂層積層方法において、前記シート基板を加熱すると共に気体を吐出することで前記シート基板を非接触状態で保持可能な加熱プレートを設け、前記シート基板を、前記感光性樹脂層が重ね合わされる前記一面が下方に向く状態で前記加熱プレート上に載置し、前記シート基板を前記加熱プレートと非接触状態で保持しながら加熱し、そのまま前記感光性樹脂層圧着部へ搬送する、ことを特徴とする感光性樹脂層積層方法。

IPC (6件)：

G03F 7/38 501 , B29C 65/02 , G02B 5/20 , G03F 7/16 , H01L 21/30 , B29L 9:00

FI (5件)：

G03F 7/38 501 , B29C 65/02 , G02B 5/20 , G03F 7/16 , H01L 21/30

引用特許：

審査官引用 (8件)

感光層積層方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-140851 出願人：富士写真フイルム株式会社
板状材料の流体による支持方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-248911 出願人：日本ファーネス工業株式会社
特開平4-350055

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