ウエハ支持部材

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-020085
公開番号（公開出願番号）：特開平11-220008
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】ウエハ支持部材1を構成するセラミック体2内に内蔵する内部電極4への給電端子5のロウ付け固定時やウエハ支持部材1の使用時において、セラミック体2の破損がなくかつ大気中の酸素がロウ材7中を拡散することによる内部電極4の酸化を抑え、500°C以上の高温域においても長寿命のウエハ支持部材1を提供する。【解決手段】ウエハの載置面を有するセラミック体2中に膜状の内部電極4を埋設し、上記載置面以外のセラミック体2の表面に給電端子5を取り付けるための凹部6を上記内部電極4を貫通して穿設し、該凹部6に銀を主体とするロウ材7を介して前記給電端子5をロウ付け固定することにより給電端子5と内部電極4とを電気的に接続してウエハ支持部材1を構成するとともに、上記給電端子5の外周にはフランジ部5cを設け、このフランジ部5cとセラミック体2の表面との間にも前記銀を主体とするロウ材7を介してロウ付け固定するとともに、上記給電端子5のフランジ部5cとセラミック体2の表面との間隔の距離hを50μm以下とする。

請求項（抜粋）：

ウエハの載置面を有するセラミック体中に少なくとも一つの内部電極を埋設してなり、上記載置面以外のセラミック体の表面に給電端子を取り付けるための凹部を前記内部電極を貫通して穿設し、該凹部に銀を主体とするロウ材を介して上記給電端子をロウ付け固定することにより給電端子と上記内部電極とを電気的に接続してなるウエハ支持部材であって、上記給電端子は外周にフランジ部を備え、このフランジ部とセラミック体の表面との間にも前記銀を主体とするロウ材を介してロウ付け固定するとともに、上記給電端子のフランジ部とセラミック体の表面との間隔の距離を50μm以下としたことを特徴とするウエハ支持部材。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , H01L 21/205 , H05B 3/08 , H05B 3/20 368

FI (4件)：

H01L 21/68 N , H01L 21/205 , H05B 3/08 , H05B 3/20 368

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