特許

J-GLOBAL ID：200903046404298068

摩擦を生じないドア部材を有する基板収納容器

発明者： 蘇育進
出願人/特許権者： 奇美電子股▲ふん▼有限公司
代理人 (1件)： 太田 明男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-266077
公開番号（公開出願番号）：特開2003-229476
出願日： 2002年09月11日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 清浄な環境で半導体を製造するためのSMIFシステム、特に、作業中における微粒子の発生を防止するため、摩擦を生じない封止機構を有するSMIFシステムを提供する。【解決手段】被処理体を搬送するための摩擦を生じないドア部材60を有する基板収納容器50は、容器本体51と、ドア部材60と、電磁石と、コネクタ63とを具備する。ここで、容器本体51は被処理体を収納するための内部空間を有し、かつ、その永久磁石を有する一端面に開口を有する。ドア部材60は開口に設けた永久磁石と対応する磁性材料を有し、ドア部材60を閉じるとともに気密空間を形成する。電磁石が、開口に設けた永久磁石と対応した状態で、ドア部材60に配置されている。コネクタ63が、電磁石を制御可能に作動してドア部材60を開けることができる外部電源に接続されている。

請求項（抜粋）：

被処理体を収納するための内部空間を有し、かつ、永久磁石を設けた一端面に開口を有する容器本体と、前記開口に設けた前記永久磁石と対応する磁性材料を有し、前記ドア部材を閉じるとともに気密空間を形成するドア部材と、を具備する被処理体を収納する摩擦を生じないドア部材を有する基板収納容器。

Fターム (12件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031EA01 ,  5F031EA11 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031NA02 ,  5F031NA05 ,  5F031NA10 ,  5F031NA17 ,  5F031PA26

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 米国特許第4,532,970号明細書
  
• 米国特許第4,534,389号明細書
  
• 米国特許第6,105,782号明細書