特許

J-GLOBAL ID：200903046411557443

研磨パッド及び研磨方法

発明者： 中嶋 英晴
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-167942
公開番号（公開出願番号）：特開2000-000755
出願日： 1998年06月16日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】 格子状または同心円状の溝を研磨面に設けた研磨パッドでは、溝内にスラリーを保持することができず、高価なスラリーが多量に無駄になっていた。【解決手段】 被研磨体(図示省略)を研磨する略円形の研磨面12を有する研磨パッド11において、研磨面12には、その中心から周縁に掛けて不連続に溝13を設けた。これによって、溝13内に導かれたスラリー(図示省略)は、遠心力によって研磨面12の外側に排出される過程で溝13内から溢れて再び溝13外の研磨面12上に供給されるようになる。

請求項（抜粋）：

被研磨体を研磨する略円形の研磨面を有する研磨パッドにおいて、前記研磨面には、その中心から周縁に掛けて不連続に溝が設けられたことを特徴とする研磨パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB05