特許
J-GLOBAL ID:200903046414614510
反射防止膜を設けた光学素子を備えた顕微鏡及びこれに用いられる撮像装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
篠原 泰司
, 藤中 雅之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-232613
公開番号(公開出願番号):特開2006-053180
出願日: 2004年08月09日
公開日(公表日): 2006年02月23日
要約:
【課題】紫外域から可視域、さらには赤外域にわたる広帯域で高い反射防止性能を有した反射防止膜を設けた高い透過率を有する光学素子を備えた顕微鏡及びこれに用いられる撮像装置を提供する。 【解決手段】光学素子の表面から数えて第1,3,5層に高屈折率材料を、第2,4層に低屈折率材料または中間屈折率材料を、第6層に低屈折率材料をそれぞれ成膜したものであり、前記各層の光学的膜厚ndが設計波長λに対して、第1層は(0.13〜0.35)×λ/4、第2層は(0.18〜0.75)×λ/4、第3層は(0.28〜2.31)×λ/4、第4層は(0.26〜0.92)×λ/4、第5層は(0.20〜0.37)×λ/4、第6層は(1.09〜1.18)×λ/4として構成されている、反射防止膜を設けた光学素子を備えている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
標本に光を照明する照明光学系と、標本からの光を観察する観察光学系を有し、前記照明光学系と前記観察光学系の共通の光路上に対物光学系を備えた顕微鏡であって、
前記観察光学系が、標本からの光の像を撮像する撮像光学系を有し、
前記照明光学系を構成する光学素子が、該光学素子の表面から数えて第1層に高屈折率材料または低屈折率材料を、第2層に中間屈折率材料を、第3,5,7層に高屈折率材料を、第4,6層に低屈折率材料または中間屈折率材料を、第8層に低屈折率材料をそれぞれ成膜したものであり、前記各層の光学的膜厚ndが設計波長λに対して、第1層は(0.07〜1.81)×λ/4、第2層は(0.32〜1.30)×λ/4、第3層は(0.29〜0.69)×λ/4、第4層は(0.07〜0.39)×λ/4、第5層は(0.67〜2.28)×λ/4、第6層は(0.21〜0.49)×λ/4、第7層は(0.28〜0.42)×λ/4、第8層は(0.98〜1.11)×λ/4とした反射防止膜を備え、
前記撮像光学系を構成する光学素子が、該光学素子の表面から数えて第1,3,5層に高屈折率材料を、第2,4層に低屈折率材料または中間屈折率材料を、第6層に低屈折率材料をそれぞれ成膜したものであり、前記各層の光学的膜厚ndが設計波長λに対して、第1層は(0.13〜0.35)×λ/4、第2層は(0.18〜0.75)×λ/4、第3層は(0.28〜2.31)×λ/4、第4層は(0.26〜0.92)×λ/4、第5層は(0.20〜0.37)×λ/4、第6層は(1.09〜1.18)×λ/4とした反射防止膜を備えたことを特徴とする顕微鏡。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (15件):
2H052AB01
, 2H052AB10
, 2H052AB30
, 2H052AC01
, 2H052AC12
, 2H052AC13
, 2H052AC27
, 2K009AA09
, 2K009BB02
, 2K009BB04
, 2K009BB11
, 2K009CC03
, 2K009CC06
, 2K009DD03
, 2K009DD04
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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