特許
J-GLOBAL ID：200903046422092159

光学記録媒体の原盤露光装置

発明者：
山本 眞伸

山本 眞伸 について

, 
柏木 俊行

柏木 俊行 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-291914
公開番号（公開出願番号）：特開平10-143927
出願日： 1996年11月01日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 記録情報のピッチむらが少なく、ピッチ間の間隔を狭くすることが可能で、高記録密度にし、また、高転送レートな光学記録媒体を実現する。【解決手段】 光学記録媒体の原盤露光装置1において、露光レーザービームLaおよびLbの位置を検出するビーム位置検出手段10と、露光レーザービームLaおよびLbの位置の設定を行うビーム位置補正手段20を設け、露光レーザービームの位置ずれを補正し、また、複数の露光レーザービームを用いた場合においては、ビームの間隔を一定に保つようにする。
請求項（抜粋）：
原盤を形成する基板上に塗布されたフォトレジスト面を露光する露光レーザービームを発生する露光レーザービーム発生源と、上記フォトレジスト面上の、上記露光レーザービームの位置を検出する位置検出手段と、該位置検出手段によって検出された検出信号によって、該露光レーザービームの上記フォトレジスト上の位置を変更制御する位置補正手段とを有し、上記露光レーザービームの位置ずれを補正することを特徴とする光学記録媒体の原盤露光装置。
IPC (3件)：
G11B 7/26 501 ,  G03F 9/00 ,  G11B 7/135
FI (3件)：
G11B 7/26 501 ,  G03F 9/00 H ,  G11B 7/135 A
引用特許：
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM