特許

J-GLOBAL ID：200903046424933150

回折性光素子を使用するグレージング入射方式の面の干渉計測

発明者： ブラニング,ジョン・エイチ
出願人/特許権者： トロペル・コーポレーション
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-522391
公開番号（公開出願番号）：特表平10-512674
出願日： 1996年01月18日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：

【要約】干渉計(10)は、回折性光素子(30 及び 40)を使用して平面形状と球面形状とのいずれとも異なる形状の被検面(14)の誤差を計測できるようにしたものである。1本の光束(28)を2つの部分(32 及び 34)に分割する。1つの回折性光素子(30)は、光束(28)の第2部分(34)の形状を第1部分(32)とは異なる形状へ変形させると共に、この第2部分(34)を、被検面(14)へグレージング入射する光路へ導くことができるようにしている。また、もう1つの回折性光素子(40)は、第2部分(34)の形状を再度変形させて、それを光束(28)の第1部分(32)と同様の形状にし得るようにしている。それら2つの光束部分(32及び 34)を併合することで、被検面(14)の誤差を表す干渉パターン(44)が発生する。

請求項（抜粋）：

3次元的形状の被検面の凹凸をグレージング入射方式で計測する干渉計において、 一次波面を発生させる光源と、 前置回折性光素子であって、(a)前記一次波面を参照波面と被検波面とに分割すると共に、(b)前記被検波面を前記参照波面に対して相対的に変形させて前記参照波面とは異なった形状にし、該被検波面を、前記3次元的形状の被検面でグレージング角をもって反射させるようにする、前記前置回折性光素子と、 後置回折性光素子であって、(a)前記参照波面と前記被検波面とを併合すると共に、(b)前記被検波面を前記参照波面に対して相対的に再度変形させて前記参照波面と同様の形状にすることで、前記被検面の凹凸を表す前記再度変形させた被検波面と前記参照波面との間の干渉パターンを発生させる、前記後置回折性光素子と、を備え、 前記前置回折性光素子を、前記後置回折性光素子とは別個の光素子としたことを特徴とする干渉計。

IPC (3件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 ,  G02B 5/18

FI (3件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D ,  G02B 5/18