特許

J-GLOBAL ID：200903046429325310

磁気抵抗線形変位センサ、角度変位センサおよび可変抵抗器

発明者： プリンツ、ゲーリー エー. ,  ハバード、ジョーン エイチ. ,  パーソンズ、フレデリック ジー.
出願人/特許権者： アメリカ合衆国
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-510872
公開番号（公開出願番号）：特表平9-505393
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】強力磁気抵抗変位センサは少なくとも1つの層構造体を含む。この層構造体は一定の磁気状態を有するより硬質の磁性体(強磁性体または反強磁性体)層(34)と、より軟質な第2の磁性体層(32)と、これら2つの層(32、34)の間に挟まれかつこれらに接触して2つの層間の交換結合を防止するための金属層(33)とを含む。また、このセンサはより軟質の磁性体層(32)中の不整合な磁場領域(35、36)の間における計測位置に磁区壁(37)を生じるための手段(56、58)と、構造体におけるそれぞれの反対側における点の間の電気抵抗値を計測するための手段(50)とを備えている。動作においては、磁区壁を生じる手段(56、58)、一般には1つ以上の割出し磁石(56、58)が強力磁気抵抗条片部に対して位置決めされる。この条片部をまたぐ抵抗値が計測され、この抵抗値の計測値から磁区壁の位置が決定される。また、本発明は可変抵抗器に関し、この抵抗器は磁区壁を所定位置に生じるための手段(56、58)を位置決めすることにより動作して条片部をまたぐ抵抗器を所望の値に設定する。

請求項（抜粋）：

第1のワークピースと第2のワークピースとの間の変位を計測するためのセンサであって、 第1のワークピースに固定した強力磁気抵抗条片部から成り、前記磁気抵抗条片部がさらに少なくとも1つの層構造体を含み、前記層構造体が第1の硬質強磁性体層または反強磁性的にピン処理された層と前記第1の硬質強磁性体層または反強磁性体層上の第2の磁性体層とから成り、前記第2の磁性体層が前記第1の層よりもより軟質の磁性体材料から成り、さらに、前記層構造体が前記第1および第2の層の間に接触して挟まれて前記第1および第2の層の間の交換結合を防ぐための導電層から成り、 さらに、前記第2の磁性体層中の磁場の領域間における測定位置において磁区壁を生じるための誘導手段から成り、前記磁場が互いに不整合であり、前記誘導手段が前記第2のワークピースに固定されており、 さらに、前記磁気抵抗条片部上の点の間の電気抵抗値を計測するための計測手段から成り、これによって前記磁区壁の位置を計測し、かつ、前記第1のワークピースに対する前記第2のワークピースの位置を計測するセンサ。

IPC (2件)：

G01B 7/30 101 ,  G01D 5/18

FI (2件)：

G01B 7/30 101 B ,  G01D 5/18 L