特許
J-GLOBAL ID：200903046433126748
ハンドラ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-321576
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163700
出願日： 1996年12月02日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 コンタクトツールの交換に要する時間を短縮でき、被検査ICの1ピンあたりの押しつけ力を適正な力に制御できるハンドラを実現する。【解決手段】 (1)ロータリーヘッドを4つのヘッドに分割し、4つのヘッドで、検査前の被検査ICの受け取り、検査、検査後の被検査ICの受け渡し、コンタクトツールの交換の作業を分担する構成にしたハンドラである。(2)所定温度の環境下で被検査ICを検査する場合に、コンタクトツールを交換したいときは、現在ヘッドに装着されているコンタクトツールを自動的にチャンバ外に搬出し、プリヒータで予熱しておいたコンタクトツールと交換する構成のハンドラである。(3)被検査ICを検査部に押し付ける力はサーボモータによって与え、このサーボモータの出力トルクは被検査ICのピン数に応じたトルクリミット値に制限する構成にしたハンドラである。
請求項（抜粋）：
ICテスタで検査を行う被検査ICを搬送するハンドラにおいて、円周方向に沿って90°ずつ回転位置をずらして配列した4個のヘッドを搭載し、これらのヘッドを一体に回転させ、90°回転する毎に停止動作を行い、4回の停止動作で全てのヘッドを4箇所の回転位置に位置決めするロータリーヘッドと、被検査ICの種類に応じて異なる形状をなし、被検査ICを前記ヘッドに装着するコンタクトツールと、第1の回転位置に検査前の被検査ICを搬入するロードシャトルと、第2の回転位置から検査後の被検査ICを搬出するアンロードシャトルと、第3の回転位置で前記コンタクトツールを交換するツールチェンジ機構と、第1の回転位置にあるヘッドに前記ロードシャトルで搬入された被検査ICを保持させる第1のアクチュエータと、第2の回転位置にあるヘッドに保持された被検査ICをアンロードシャトルに渡す第2のアクチュエータと、第3の回転位置にあるヘッドに保持されたコンタクトツールを前記ツールチェンジ機構に交換させる第3のアクチュエータと、第4の回転位置にあるヘッドに保持された被検査ICを検査部に接続する第4のアクチュエータと、を具備したことを特徴とするハンドラ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05K 13/08 D
, G01R 31/26 Z
