インクジェットプリンタヘッドの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柏木明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-102995
公開番号（公開出願番号）：特開平10-291323
出願日： 1997年04月21日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】均質で均一な厚さの薄い接着層により下部基板と上部基板との接着を行うことである。【解決手段】下部基板2の一面の一部に薄膜16を形成し、この薄膜16に上部基板3を接合させてこの上部基板3と前記下部基板2との間に前記薄膜16の厚さに一致した隙間を形成し、この隙間に表面張力を利用して低粘度の接着剤18を充填した後にこの接着剤18を硬化させて基板4を形成するようにした。

請求項（抜粋）：

少なくとも一方が圧電部材からなる下部基板と上部基板とにより形成された基板の一面と端面とに開口した複数の溝を側壁により仕切って互いに平行に形成し、前記基板の一面に前記溝を閉塞する天板を接着するとともに前記基板の端面に前記溝を閉塞するノズル板を接着して前記溝をインク室としたインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記下部基板の一面の一部に薄膜を形成し、この薄膜に前記上部基板を接合させてこの上部基板と前記下部基板との間に前記薄膜の厚さに一致した隙間を形成し、この隙間に表面張力を利用して低粘度の接着剤を充填した後にこの接着剤を硬化させて前記基板を形成するようにしたことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

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