特許
J-GLOBAL ID：200903046449275310
感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-137456
公開番号（公開出願番号）：特開平5-289334
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】感光性芳香族ポリアミドまたは感光性芳香族ポリイミドなどの感光性樹脂、光重合開始剤、ジカルボン酸化合物(A)、および、エポキシ基またはアミノ基を含有するアルコキシシラン化合物(B)からなり、(A)と(B)のモル比(A/B)が2:9〜5:2である感光性組成物である。この組成物の塗膜(皮膜)を基材上に形成し、その塗膜上に光照射してパターン状に光硬化させ、最後に、現像液で該塗膜の未露光部分(未硬化部分)を除去する現像操作を行うことによって、基材上に密着性の優れた微細なパターンの光硬化膜層を容易に形成する。【効果】微細な電子部材の絶縁保護膜(オーバーコート膜)を形成したり、微細なパターンの光硬化層を形成するため等に使用できる。
請求項（抜粋）：
炭素-炭素不飽和結合を有する感光性樹脂、光重合開始剤、ジカルボン酸化合物(A)、および、エポキシ基またはアミノ基を含有するアルコキシシラン化合物(B)からなり、(A)と(B)とのモル比(A/B)が2:9〜5:2であることを特徴とする感光性組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/027 511
, G03F 7/031
, G03F 7/038
, G03F 7/075 501
, H01L 21/027
, H01L 21/312
