特許
J-GLOBAL ID：200903046451321841
超音波センサ及び超音波センサアレイ、これらを備えた超音波検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-096822
公開番号（公開出願番号）：特開2009-253493
出願日： 2008年04月03日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：
【課題】機械的感度と光学的感度を両立させることによって、高感度化および広帯域化を同時に図ることができ、アレイ化が容易となる超音波センサ及び超音波センサアレイ、これらを備えた超音波検出装置を提供する。【解決手段】超音波センサであって、 基板上に設けられ、超音波によって変位する可動部を含み構成される超音波受信部と、 前記超音波受信部に設けられた第1の反射膜と、前記基板上に保持された第2の反射膜とを、非固体媒質を介し対向配設して構成される共振器と、 を備え、前記超音波による可動部の変位を、該可動部の変位に応じた前記第1及び第2の反射膜間の相対距離の変化に基づく光学応答によって、検出する構成とする。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
超音波センサであって、
基板上に設けられ、超音波によって変位する可動部を含み構成される超音波受信部と、
前記超音波受信部に設けられた第1の反射膜と、前記基板上に保持された第2の反射膜とを、非固体媒質を介し対向配設して構成される共振器と、
を備え、前記超音波による可動部の変位を、該可動部の変位に応じた前記第1及び第2の反射膜間の相対距離の変化に基づく光学応答によって、検出することを特徴とする超音波センサ。
IPC (4件)：
H04R 23/00
, A61B 8/00
, G01S 7/521
, G01N 29/24
H04R23/00 330
, A61B8/00
, G01S7/52 A
, G01N29/24 502
2G047CA07
, 2G047EA05
, 2G047GB02
, 4C601EE03
, 4C601EE13
, 5D019AA21
, 5D019FF04
, 5J083AA05
, 5J083AC18
, 5J083AC29
, 5J083AC32
, 5J083CA07
, 5J083CA12
, 5J083CB15
, 5J083CB30
