特許
J-GLOBAL ID：200903046456837005
排気方法及び減圧処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-032416
公開番号（公開出願番号）：特開平5-234902
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】 減圧処理する処理室の排気に関し、排気ガスの処理室への逆拡散を防止できる排気方法及び減圧処理装置の提供を目的とする。【構成】 処理室1に排気ポンプ4を接続する排気配管3に、アスピレータの構造をなし駆動流体を気体にした送気機構5を設けて、処理室1への逆拡散を防止するように構成し、送気機構5は、排気配管3の処理室1近傍に設けるように構成する。送気機構5における5aは絞り,5bは気体噴出ノズルであり、6はバイパス配管である。
請求項（抜粋）：
減圧処理する処理室の排気において、該処理室に排気ポンプを接続する排気配管に、アスピレータの構造をなし駆動流体を気体にした送気機構を設けて、該処理室への逆拡散を防止することを特徴とする排気方法。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, C23C 16/52
, C30B 25/14
