特許

J-GLOBAL ID：200903046465406793

形状測定方法及びそれを用いた形状測定装置

発明者： 根岸 真人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-017179
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189544
出願日： 1996年01月05日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】 接触用プローブを用いて被測定物の3次元形状を高精度に測定することができる形状測定方法及びそれを用いた形状測定装置を得ること。【解決手段】 被測定物の複数の点群での形状を求める形状測定手段からの測定データよりセッティング誤差計算手段によりセッティング誤差を補正し、これより得た測定データと設計データの差より被測定物の誤差形状を求め、該誤差形状に基づいて異常データを抽出し、その位置座標をマークし、該マークした位置座標を除いた複数の点群での測定データを再び該セッティング誤差計算手段に入力してセッティング誤差を補正して、被測定物の誤差形状を求める工程を利用していること。

請求項（抜粋）：

被測定物の複数の点群での形状を求める形状測定手段からの測定データよりセッティング誤差計算手段によりセッティング誤差を補正し、これより得た測定データと設計データの差より被測定物の誤差形状を求め、該誤差形状に基づいて異常データを抽出し、その位置座標をマークし、該マークした位置座標を除いた複数の点群での測定データを再び該セッティング誤差計算手段に入力してセッティング誤差を補正して、被測定物の誤差形状を求める工程を利用していることを特徴とする形状測定方法。

IPC (2件)：

G01B 21/20 101 ,  G01M 11/00

FI (2件)：

G01B 21/20 101 Z ,  G01M 11/00 L