特許

J-GLOBAL ID：200903046477844338

ドライエッチング方法

発明者： 河本 滋
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-322659
公開番号（公開出願番号）：特開平8-176851
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：

【要約】【構成】エッチングガスとしてのハロゲンを、固体ハロゲン化合物(ZnCl2)3の蒸気6として供給する。【効果】エッチングガス供給源が固体であるため、従来のように毒性・腐食性をもつハロゲンを気体のまま供給源として用いる場合に比べ、取扱い時の人体への危険性が大幅に低減される。また、固体ハロゲン化合物はドライエッチング装置内に設置して用いることができるため、ガス管を要せず、装置構成が簡素化される。

請求項（抜粋）：

真空槽内で固体ハロゲン化合物を加熱し発生した蒸気の分子線を被エッチング試料に照射してエッチングすることを特徴とするドライエッチング方法。

IPC (3件)：

C23F 1/12 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/302

FI (3件)：

H01L 21/302 F ,  H01L 21/302 N ,  H01L 21/302 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-270830
  
• 特開平2-230719