特許
J-GLOBAL ID：200903046484426789
微小変位測定装置及び光ピックアップ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-330593
公開番号（公開出願番号）：特開平7-073502
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 検出長を短くした状態で高感度な検出を行うことができると共に、検出スポット径も数mmと大きくした状態で信号検出を行うことができる微小変位測定装置及び光ピックアップ装置を提供する。【構成】 光源9からの光を対物レンズ12により集光して測定物13に照射しその測定物13により反射され対物レンズ12を再び通過した光が入射することにより±n次光の第一回折光を発生する第一回折格子14aと、第一回折光が入射する第一回折格子14aとは格子ピッチが異なり±m次光の第二回折光を発生する第二回折格子14bとを有し第二回折光の間での干渉により干渉縞を発生させる干渉縞発生手段14を設け、その発生した干渉縞の位相とピッチの変化を受光素子15により検出し測定物13の光軸方向への移動量を算出する測定物移動量算出手段を設けた。
請求項（抜粋）：
光源からの光を対物レンズにより集光して測定物に照射しその測定物により反射され前記対物レンズを再び通過した光が入射することにより±n次光の第一回折光を発生する第一回折格子と、前記第一回折光が入射する前記第一回折格子とは格子ピッチが異なり±m次光の第二回折光を発生する第二回折格子とを有し前記第二回折光の間での干渉により干渉縞を発生させる干渉縞発生手段を設け、その発生した干渉縞の位相とピッチの変化を受光素子により検出し前記測定物の光軸方向への移動量を算出する測定物移動量算出手段を設けたことを特徴とする微小変位測定装置。
IPC (3件)：
G11B 7/135
, G01B 11/00
, G11B 7/09
