特許

J-GLOBAL ID：200903046486109829

ネガ型感放射線性樹脂組成物およびそのパターン形成方法

発明者： 小柳 敬夫 ,  高橋 真二郎 ,  北折 智之 ,  長澤 孝太郎
出願人/特許権者： 日本化薬株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-218306
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062833
出願日： 1994年08月22日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、酸により架橋反応を起こしうる化合物(酸硬化性架橋剤)及び放射線照射によりハロゲン化水素酸を発生する化合物(光酸発生剤)からなる感放射線性樹脂組成物、ならびにこの3成分を溶媒に溶解し、シリコンウェハーのような基板上に塗布、乾燥させ、放射線を照射、さらに加熱増感処理を施した後、アルカリ水溶液で現像することよりなる基板上に樹脂パターンを形成する方法。【効果】本発明のネガ型感放射線性樹脂組成物は、放射線を照射した場合、感度、解像度が極めて高く、得られた樹脂パターンは形状も優れるため、半導体集積回路の製造にきわめて有用である。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、酸により架橋反応を起こしうる化合物(酸硬化性架橋剤)及び放射線照射によりハロゲン化水素酸を発生する下記一般式(I)【化1】(式中、X1 ,X2 ,X3 ,X 4は水素原子、低級アルキル基又は、ハロゲン原子を示し、X1 ,X2 ,X3 ,X4 の少なくとも1つはハロゲン原子である。)で示される化合物(光酸発生剤)からなることを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物

IPC (6件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/30 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/027