特許
J-GLOBAL ID：200903046489302727

ポジ型感光性組成物及びそれからなる有機膜

発明者：
渡邉 英司

渡邉 英司 について

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伊丹 節男

伊丹 節男 について

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木村 佑希

木村 佑希 について

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佐藤 弘幸

佐藤 弘幸 について


出願人/特許権者：
チッソ株式会社

チッソ株式会社 について


代理人 (6件)： 川口 嘉之 ,  松倉 秀実 ,  和久田 純一 ,  遠山 勉 ,  佐貫 伸一 ,  丹羽 武司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-001976
公開番号（公開出願番号）：特開2009-163093
出願日： 2008年01月09日
公開日（公表日）： 2009年07月23日
要約：
【課題】高耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、高耐アルカリ性、高耐熱性、高透明性、下地との密着性等に優れ、アルカリ水溶液で現像することにより得られるパターニングされた有機膜の形成に有用な共重合体及びそれを含有するポジ型感光性組成物とそれからなる有機膜を提供する。【解決手段】ラジカル重合性を有する特定のビニルケトンフェノールと他のラジカル重合性モノマーとの共重合体と、カルボン酸又はカルボン酸無水物を含有するラジカル重合性モノマーと他のラジカル重合性モノマーとの共重合体と、キノンジアジド化合物とを含有するポジ型感光性組成物とそれからなる有機膜を提供する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
式(1)で表されるモノマー(A)と共重合用ラジカル重合性モノマー(E1)とを共重合して得られる共重合体(a)、カルボン酸又はカルボン酸無水物を含有するラジカル重合性モノマー(B)と共重合用ラジカル重合性モノマー(E2)とを共重合して得られる共重合体(b)、及び、キノンジアジド化合物(D)、を含有するポジ型感光性組成物であって、前記共重合用ラジカル重合性モノマー(E1)及び(E2)は前記モノマー(A)及び(B)を含まないポジ型感光性組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/023 ,  C08F 216/36 ,  C08F 220/06 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F7/023 ,  C08F216/36 ,  C08F220/06 ,  H01L21/30 502R
Fターム (41件)：
2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB30 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J100AB02S ,  4J100AF10S ,  4J100AF10T ,  4J100AJ02Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08R ,  4J100AL09R ,  4J100AL10P ,  4J100AM47Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04T ,  4J100BC12R ,  4J100BC43P ,  4J100BC43S ,  4J100BC53P ,  4J100BC54P ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (7件)
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