特許

J-GLOBAL ID：200903046491488862

ウェハーキャリヤ

発明者： カーク・ジェイ・ミケルセン ,  ジョン・ビー・グッドマン
出願人/特許権者： フルオロウェア・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 岡田 英彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216426
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198664
出願日： 1992年07月22日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】 ウェハキャリヤの耐熱性及び耐薬品性を向上させる。【構成】 化学処理を必要とするシリコンウェハーなどの基板に対するキャリヤあるいはコンテナであり、このキャリヤはダイヤモンドの被覆を有する。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンドのコーティング部分に被われたキャリヤベース部分を有するウェハーキャリヤ。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/38