特許

J-GLOBAL ID：200903046495984490

半導体検査装置

発明者： 仲喜 治一
出願人/特許権者： 松下電子工業株式会社
代理人 (1件)： 宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-128621
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322782
出願日： 1992年05月21日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】 複雑なリード曲がりに起因する半導体素子のリード形状不良を安定に判別でき、一対の発光部および受光部によりリードの種類に関係なく安定に判別でき、さらに外乱光の影響を抑制した半導体検査装置を提供する。【構成】 トランジスタ1は、所定のチルト角θを有した移動ライン8上のホルダ5内のレール(図示せず)に沿って矢印A方向に移動させる。半導体検査装置は、発光部3と受光部7とからなり、発光部3は、トランジスタ1のリード2に入射角度θ1 で所定時間毎にビーム4aを照射するものである。ビーム4aの形状は、トランジスタ1のリード2の長手方向に対して垂直方向に幅広の長楕円形のものである。また、受光部7は、リード2から入射角度θ1 と同一の反射角度θ2 で反射するビーム4aの反射光4bを受光し、これを光電変換して得た電気信号の出力レベルに基づいてリード2の形状の良否を判別するものである。

請求項（抜粋）：

被検査対象となる半導体素子のリードに、このリードに対して所定角度でビームを照射する発光部と、前記リードから前記所定角度と同一角度で反射する前記ビームの反射光を受光し光電変換した電気信号の出力レベルに基づいて前記リードの形状の良否を判別する受光部とを備えた半導体検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  H01L 21/66