特許
J-GLOBAL ID：200903046504831871
走査型探針顕微鏡および多重情報再生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-090294
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300514
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、探針および試料を損傷することなく高速走査が可能な走査型探針顕微鏡とその技術を応用した多重情報再生装置を提供することを目的とする。【構成】 基体3の表面が絶縁体4で被覆されている探針1を、カンチレバー2の先端部に設け、探針1を試料5の表面に接触させた状態で、3次元微動機構6により試料5の表面に沿って走査し、探針1と試料5との間にバイアス電圧を印加し、流れる電流を検出する。
請求項（抜粋）：
カンチレバーと、前記カンチレバーの先端部に設けられ、その基体部分が金属または半導体からなり、前記基体部分の表面に絶縁層が被覆された探針と、前記探針を試料の表面に接触させた状態で前記探針を前記試料の表面に沿って走査する手段と、前記探針と前記試料との間にバイアス電圧を印加し流れる電流を検出する手段とを具備する走査型探針顕微鏡。
IPC (4件)：
G01B 7/34
, G01B 21/30
, G11B 9/00
, H01J 37/28
