特許
J-GLOBAL ID：200903046510801097
位置合わせ装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-227765
公開番号（公開出願番号）：特開平5-066108
出願日： 1991年09月09日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、各種露光装置に使用される位置合わせ装置に関するもので、露光波長と異なるアライメント波長での色収差を補正し、レチクル上の位置合わせマーク像を補正光学系及びレンズを介してウェハ上に結像させることにより、投影光学系を通してレチクルとウェハの高精度な位置合わせを行うことのできる位置合わせ装置を提供することをを目的とする。【構成】 本発明は、投影光学系の物体面上に位置する第1の物体に設けられた第1の位置合わせマークと、投影光学系の像面上に位置する第2の物体に設けられた第2の位置合わせマークと、露光波長と異なる波長を持つ2周波のコヒーレントなアライメント光を出射する光源と、第1の物体上で干渉縞が作られる特定領域に対応して第2の物体面上で正しく結像させるよう投影光学系の色収差を補正する補正光学系と、第2の位置合わせマークから戻る光からスペックルパターンを除去する空間フィルタリング用光学系と、空間フィルタリング用光学系を透過した光から光ビート信号を検出するための光検出手段を備えたものである。
請求項（抜粋）：
投影光学系の物体面上に位置する第1の物体に設けられた回折格子と、投影光学系の像面上に位置する第2の物体に設けられた位置合わせマークと、露光波長と異なる波長を持つ2周波のコヒーレントなアライメント光を出射する光源と、上記第1の物体上の特定領域に対応して第2の物体面上で正しく結像させるよう上記投影光学系の色収差を補正する補正光学系と、上記第2の位置合わせマークから戻る光からスペックルパターンを除去する空間フィルタリング用光学系と、上記空間フィルタリング用光学系を透過した光から光ビート信号を検出するための光検出手段を備えた位置合わせ装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
