特許
J-GLOBAL ID:200903046515631211

多層折り返し共鳴キャビティを有する超短パルスレーザ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山崎 行造 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-550343
公開番号(公開出願番号):特表2001-525999
出願日: 1998年03月13日
公開日(公表日): 2001年12月11日
要約:
【要約】フェムトセコンド範囲のパルス長を有する短出力パルスを提供する超速レーザは共鳴キャビティを折り返してその全長を短縮するための複数の折り返しミラー(18,20,22,29)を含む共鳴キャビティを含む。折り返しミラーの各々はイオンビームスパッターで約0.5ナノメーターRMS未満の表面荒さを有する基体上に析出させた複数の層を含む。折り返しミラーの一つ又はこれ以上のミラーはレーザが500フェムトセコンド未満の長さを有するパルスのパルスモードで作動するよう負-群-速度-分散ミラーを有することができる。
請求項(抜粋):
レーザ装置にして、 レーザ光のための共鳴キャビティを形成する第1及び第2端部ミラーと、 前記共鳴キャビティ中に位置するレーザ利得媒体と、 前記共鳴キャビティ中に位置して前記第1及び第2端部ミラーと協働するよ う整合した少なくとも二つの折り返しミラーにして、前記共鳴キャビティ中で 循環するレーザ光が前記折り返しミラーにより該折り返しミラー同士間のジグ ザグ経路で反射する、前記少なくとも二つの折り返しミラーと、を含み、 前記折り返しミラーの各々は99.97%又はこれ以上の反射力を有することを 特徴とする前記レーザ装置。
IPC (2件):
H01S 3/081 ,  G02B 5/08
FI (2件):
H01S 3/081 ,  G02B 5/08 A
引用特許:
審査官引用 (1件)
引用文献:
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