特許
J-GLOBAL ID：200903046515779898
大気圧イオン化質量分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-090382
公開番号（公開出願番号）：特開平7-296765
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 イオン源から分析部に導入されるガス流量を細孔の小径化によって低減し、約100ml/分未満の微少量のガス流量を導入してイオン分析を行うことができる大気圧イオン化質量分析装置を提供する。【構成】 半導体製造プロセスにおいて、ガス中の超微量不純物を計測・評価する大気圧イオン化質量分析装置であって、試料が導入される試料導入部と、大気圧で動作されるイオン化部2と、静電レンズによるイオン収束および差動排気が行われる差動排気部と、イオン分析を行う分析部とから構成されている。イオン化部2の本体11の他方の開口側にはスリット19が固定され、このスリット19は、スーパーフェライト系のステンレス材で形成され、細孔20の直径が0.001mm〜0.05mmで放電加工、レーザー加工またはエッチング加工により加工され、この加工後に酸化クロム不動態膜処理が施されている。
請求項（抜粋）：
試料が導入される大気圧のイオン化部と、静電レンズによるイオン収束および差動排気が行われる中間圧力部と、イオン分析を行う高真空部とを備え、前記イオン化部と前記中間圧力部を細孔で接続する大気圧イオン化質量分析装置であって、前記イオン化部と前記中間圧力部とを接続する細孔形成部材の細孔の直径を0.05mm以下とすることを特徴とする大気圧イオン化質量分析装置。
IPC (2件)：
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