特許
J-GLOBAL ID：200903046523474060

真空排気装置

発明者：
安藤 清

安藤 清 について


出願人/特許権者：
ナブテスコ株式会社

ナブテスコ株式会社 について


代理人 (1件)： 有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-165360
公開番号（公開出願番号）：特開2005-256845
出願日： 2005年06月06日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
【課題】 差圧による動力を減少させることにより、吸気側の圧力が到達圧力或はある程度の真空であるときエネルギー効率の高い真空排気装置を提供する。 【解決手段】 粗引ポンプBとブースタポンプAとを備えた真空排気装置100において、粗引ポンプBとブースタポンプAをそれぞれスクリュー真空ポンプで構成し、粗引ポンプBの設計排気速度を、ブースタポンプAの設計排気速度より十分小さいが粗引ポンプとして機能する大きさとし、ブースタポンプAのスクリュー巻数を、粗引ポンプBのスクリュー巻数より少なくした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
粗引ポンプとブースタポンプとを備えた真空排気装置において、粗引ポンプとブースタポンプをそれぞれスクリュー真空ポンプで構成し、粗引スクリュー真空ポンプの設計排気速度を、ブースタスクリュー真空ポンプの設計排気速度より十分小さいが粗引ポンプとして機能する大きさとし、ブースタスクリュー真空ポンプのスクリュー巻数を、粗引スクリュー真空ポンプのスクリュー巻数より少なくしたことを特徴とする真空排気装置。
IPC (3件)：
F04C25/02 ,  F04C18/16 ,  F04C23/00
FI (3件)：
F04C25/02 N ,  F04C18/16 S ,  F04C23/00 A
Fターム (4件)：
3H029AA03 ,  3H029AB06 ,  3H029CC03 ,  3H029CC05
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 特公平7-9239
  • 特開昭62-243982
  • 真空排気装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-266946   出願人：松下電器産業株式会社
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審査官引用 (2件)

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