特許

J-GLOBAL ID：200903046533407221

膜厚測定方法

発明者： 近藤 教之
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-059446
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249620
出願日： 1993年02月23日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 開口数の大きな対物レンズを用いた膜厚測定についても、正確に膜厚を測定することができる膜厚測定方法を提供する。【構成】 対物レンズの開口数が比較的大きい場合には、実測データの測定に先立って、第1検量線データが求められる。すなわち、角度ゼロから対物レンズの開口数に対応する最外角までの角度範囲内で、複数の入射角度が選択される。そして、設定膜厚および設定波長ごとに、その角度で入射する照明光成分に対する試料の反射率がそれぞれ求められ、さらに積分されて、その設定膜厚および設定波長での反射率が求められる。こうして、対物レンズの開口数に対応して、各設定膜厚での波長に対する試料の反射率を示す第1検量線データが求められる。その後、実測された実測データがその第1検量線データと比較されて、透明薄膜の膜厚が求められる。

請求項（抜粋）：

基板上に透明薄膜が形成された試料の表面に対物レンズを介して照明光を照射し、さらにその試料により反射された光を分光し、分光反射率を実測した後、その実測分光反射率をあらかじめ求めておいた検量線データと比較して前記透明薄膜の膜厚を求める膜厚測定方法において、前記検量線データは、前記透明薄膜がそれぞれ異なる設定膜厚を有すると仮定したときの、各設定膜厚での波長に対する前記試料の反射率であり、設定膜厚および設定波長ごとに、以下の工程(a) ,(b) 、すなわち(a) 初期角度から前記対物レンズの開口数に対応する最外角までの角度範囲内で、複数の角度を選択し、その選択された角度で入射する照明光成分に対する前記試料の反射率をそれぞれ求める工程と、(b) 工程(a) で求めた前記複数の反射率を積分して、前記設定膜厚および前記設定波長での反射率とする工程と、を実行することによって、前記検量線データを求めることを特徴とする膜厚測定方法。