変位測定装置および光ピックアップ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：植本雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-180935
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029124
出願日： 1994年07月08日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】回折格子を用いずに、簡単な光学要素によって自由度の高い設計を行なうことが可能である。【構成】光源1と、光源1からの光をコリメ-トするコリメ-トレンズ2と、ビームスプリッタ3と、コリメ-トレンズ2からのコリメ-ト光を被測定物5に集光照射する対物レンズ4と、被測定物5からの反射光が対物レンズ4,ビームスプリッタ3を介して入射し、干渉縞を発生させる反射透過手段10と、反射透過手段10によって発生した干渉縞が投影され、該干渉縞を受光し、該干渉縞に基づいて、被測定物5の変位に関する情報を検出する受光手段7,8とを有している。ここで、反射透過手段10としては、被測定物5からの反射光を2つの光束に分離しつつ光路を重ね合わせて干渉縞を発生させる機能を有するものが用いられる。

請求項（抜粋）：

光源からの光を被測定物に集光照射し、前記被測定物からの反射光に基づき、被測定物の変位を測定する変位測定装置において、前記被測定物からの反射光を2つの光束に分離しつつ光路を重ね合わせて干渉縞を発生させる反射透過手段と、前記被測定物に入射する光の光軸方向への前記被測定物の移動に伴なう前記干渉縞の変化を読み取って前記光軸方向への前記被測定物の変位を検知する受光手段とを有していることを特徴とする変位測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G11B 7/09

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平3-250437
特開平2-128327
特開平4-053031

全件表示

前のページに戻る