特許
J-GLOBAL ID：200903046540849191
泡排出手段を有する切削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-321773
公開番号（公開出願番号）：特開平8-155784
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1996年06月18日
要約：
【要約】【目的】 界面活性剤を混入した切削液から多量の泡が発生しても、その泡を速やかに且つ簡単に排出出来るようにした、泡排出手段を有する切削装置を提供する。【構成】 チャックテーブルに保持された被加工物に切削液を供給しながら切削を遂行する切削装置において、この切削装置には廃液となった切削液が装置内部に浸入しないようにカバーが配設されていると共に、廃液を収容し外部に排出する廃液トレーが配設されており、この廃液トレーには前記切削液に混入した界面活性剤による泡を吸引排出する泡排出手段が設けられる。
請求項（抜粋）：
チャックテーブルに保持された被加工物に切削液を供給しながら切削を遂行する切削装置において、この切削装置には廃液となった切削液が装置内部に浸入しないようにカバーが配設されていると共に、廃液を収容し外部に排出する廃液トレーが配設されており、この廃液トレーには前記切削液に混入した界面活性剤による泡を吸引排出する泡排出手段が設けられた、ことを特徴とする泡排出手段を有する切削装置。
IPC (3件)：
B23Q 11/10
, B23Q 11/08
, H01L 21/304 331
