特許

J-GLOBAL ID：200903046545009965

三弗化窒素ガスの除害剤

発明者： 原田 功 ,  在塚 眞 ,  菰原 定一 ,  橋本 隆
出願人/特許権者： 三井東圧化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-306342
公開番号（公開出願番号）：特開平7-155540
出願日： 1993年12月07日
公開日（公表日）： 1995年06月20日
要約：

【要約】【構成】 一種以上の固体金属弗化物と金属の混合物で、該金属の含有量が1〜99重量%である三弗化窒素ガスの除害剤。【効果】 三弗化窒素ガスの除害効率を飛躍的に向上させ、またカラムの閉塞の原因となるタブレットの粉化を防止することが可能。

請求項（抜粋）：

一種以上の固体金属弗化物と金属の混合物で、該金属の含有量が1〜99重量%であることを特徴とする三弗化窒素ガスの除害剤。

IPC (3件)：

B01D 53/68 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/54

FI (3件)：

B01D 53/34 134 C ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 128