特許
J-GLOBAL ID:200903046545332340

受光素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 樺山 亨 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-029480
公開番号(公開出願番号):特開平5-226686
出願日: 1992年02月17日
公開日(公表日): 1993年09月03日
要約:
【要約】【目的】短波長光に対しても感度の優れた多分割ラテラル型の受光素子を提供する。【構成】第一の伝導型の高抵抗基板31と、該高抵抗基板31の表面近傍に設けられた第一伝導型の不純物拡散領域32-1,32-2及び第二伝導型の不純物拡散領域33と、それぞれの拡散領域に接続する金属配線35とを少なくとも具備した受光素子において、基板の表面近傍に設けられた第一伝導型の不純物拡散層32-1,32-2及び第二伝導型の不純物拡散層33のどちらか一方が複数個の受光部によって共有されていることを特徴とする。【効果】隣接する受光部間のギャップを共有している不純物拡散層の領域巾で決定できるためギャップを非常に狭くすることができ、狭いギャップ間隔を持つ多分割ラテラル型pin構造の受光素子を提供することができる。
請求項(抜粋):
第一の伝導型の高抵抗基板と、該高抵抗基板の表面近傍に設けられた第一伝導型の不純物拡散領域及び第二伝導型の不純物拡散領域と、それぞれの拡散領域に接続する金属配線とを少なくとも具備した受光素子において、基板の表面近傍に設けられた第一及び第二の伝導型の不純物拡散層のどちらか一方が複数個の受光部によって共有されていることを特徴とする受光素子。
IPC (3件):
H01L 31/10 ,  G11B 7/13 ,  H01L 27/14
FI (2件):
H01L 31/10 A ,  H01L 27/14 K

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