導波形光デバイス

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-085819
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300994
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】マイクロ波減衰を軽減した高速導波形光デバイスを提供する。【構成】電気光学効果を有する結晶基板1と、導波路2,3,4と、誘電率が1.1〜40の誘電体よりなるバッファ層5と、少なくとも1対の電極6,7,8と、スリットまたは凹構造を有する、低誘電率の誘電体よりなる基板9とを備え、結晶基板と前記基板との間に、端部を除いて、エアギャップを有している。

請求項（抜粋）：

電気光学効果を有する結晶基板と、この結晶基板内に作製された導波路と、前記結晶基板上に設けられた、誘電率が1.1〜40の誘電体よりなるバッファ層と、このバッファ層上に設けられた少なくとも1対の電極と、前記結晶基板の裏面に設けられ、スリットまたは凹構造を有する、低誘電率の誘電体よりなる基板とを備え、前記結晶基板と前記低誘電率の誘電体よりなる基板との間に、端部を除いて、エアギャップを有することを特徴とする導波形光デバイス。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-234219
特開昭64-018121
特開平3-257430

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