特許

J-GLOBAL ID：200903046561453956

エアシャワ装置

発明者： 一木 眞吾 ,  倉光 英次 ,  吉田 昭一 ,  八木 克人 ,  高橋 耕造
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-049566
公開番号（公開出願番号）：特開平5-248678
出願日： 1992年03月06日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：

【要約】【目的】 クリーンルームに入室する被清浄体に対する高度の清浄度と、特に人に対する快適性を保持するエアシャワ装置を提供する。【構成】エアシャワ室2を通過する被清浄体Aが、エアカーテン流Cとノズル8からのエアジェット流Bを連続的に浴びるように、ノズル8、プレフィルタ5、第1送風機4、第1フィルタ3、ダクト6、第2送風機9、第2フィルタ10を経由するミキシング循環流路を形成し、クーリングユニット41、ヒータ42、遠赤外線ヒータ48などを組合せた空調装置によって、被清浄体Aに対し快適な条件で清浄化を行なう。

請求項（抜粋）：

エアシャワ室と、該エアシャワ室内に清浄なエアカーテン流を形成する手段と、前記エアシャワ室内に清浄なエアジェット流を形成する手段を備えたエアシャワ装置において、前記エアカーテン流とエアジェット流を混合して循環させる流路と、前記エアシャワ室内の温度の調整手段を備えたことを特徴とするエアシャワ装置。

IPC (2件)：

F24F 7/06 ,  B08B 15/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-112142
  
• 特開昭63-225721
  
• 特開昭59-112142
  
• 特公昭56-007086