特許
J-GLOBAL ID：200903046566958584
薬液供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168264
公開番号（公開出願番号）：特開平8-337296
出願日： 1995年06月09日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：
【要約】【目的】 簡易な構成で、薬液の脱気効率が高く、処理部へ供給される薬液についての実質的な脱気効率も高い薬液供給装置を提供する。【構成】 密閉された貯留タンク12の内部に、気体透過膜材によって形成された隔壁14を配設し、隔壁によって貯留タンク内部を薬液貯留部16と真空吸引室18とに区画する。隔壁が薬液20の液面より常に下方に位置するようにし、真空吸引室を真空排気装置に接続する。
請求項（抜粋）：
密閉され、内部に薬液を貯留する貯留タンクと、薬液供給源に流路接続されるとともに、先端が前記貯留タンク内に臨んで薬液を貯留タンクに導入する薬液導入用配管と、先端が、前記貯留タンクに貯留された薬液の液面より常に下方の位置で貯留タンク内を臨むように配置され、薬液を前記貯留タンクから送出する薬液送出用配管と、前記貯留タンクに貯留された薬液を圧送する薬液圧送手段とからなる薬液供給装置において、前記貯留タンクの内部の、貯留タンクに貯留された薬液の常に液面下となる位置に、気体透過膜材によって形成された隔壁を配設し、その隔壁によって貯留タンク内部を薬液貯留部と真空吸引室とに区画するとともに、前記真空吸引室を真空吸引手段に接続したことを特徴とする薬液供給装置。
IPC (4件)：
B67D 5/02
, B01J 4/00 103
, F17D 1/08
, H01L 21/027
B67D 5/02 Z
, B01J 4/00 103
, F17D 1/08
, H01L 21/30 564 Z
, H01L 21/30 569 C
