特許
J-GLOBAL ID：200903046573928232
ガスレーザ装置のレーザ筐体およびレーザ筐体内のガス排気方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-272899
公開番号（公開出願番号）：特開平6-125123
出願日： 1992年10月12日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】 レーザ筐体内の水分等、不純物ガスを効率よく短時間に除去し、パッシベーション処理の回数を減少させることができるガスレーザ装置のレーザ筐体およびこのレーザ筐体内のガス排気方法を得る。【構成】 レーザ媒質ガスの充填、レーザ発振、汚れガスの排出を繰り返すパッシベーション処理におけるガスの排出工程において、筐体6に設けた加熱ジャケット7に加熱媒体を注入して筐体6を加熱しながら排気する。
請求項（抜粋）：
レーザ媒質ガスの充填、レーザ発振、汚れガスの排出を繰り返すパッシベーション処理におけるガスの排出工程において、筐体内を加熱しながら排気するようにしたことを特徴とするガスレーザ装置のレーザ筐体内のガス排気方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 J
, H01S 3/097 Z
